合理化の事例
合理化事例1
改善前
改善後
状況
基材を粗研磨した後に歪取り目的でエッチング、その後鏡面を出すためのCMPを実施、最後にエッチングでCMP歪取りをしていた
合理化ポイント
- 鏡面でなくとも必要な機能は維持できることを確認
- 粗研磨後に機能に必要な面粗さを確保するエッチング方法を確立
効果
- CMP工程（装置と高価なCMP研磨材）が不要になった
- 人件費削減
- 生産能力の増大
合理化事例2
状況
- ガラスをHFでエッチパターニングする際のマスク材としてAu薄膜を使用していた
- 耐HF性向上やピンホールをなくすためAuの厚さが必要であった
合理化ポイント
- Au成膜条件を見直し膜質を緻密にすることで必要膜厚を減らせることがわかった
効果
- Auの厚みを80%削減させコストダウンできた
- 成膜時間を削減し生産性を向上できた